真空閥是在低壓或真空狀態(tài)下正常工作，實(shí)現(xiàn)對(duì)介質(zhì)的控制，如開啟、關(guān)閉或調(diào)節(jié)流量。真空閥在半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、空間模擬、科研實(shí)驗(yàn)以及工業(yè)生產(chǎn)過程中的真空應(yīng)用中扮演著至關(guān)重要的角色。
真空閥的種類繁多，根據(jù)其功能和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，可以分為以下幾類：
截止閥（Globe Valve）：通過旋轉(zhuǎn)閥瓣來控制流體的流動(dòng)，適用于需要控制流量的場(chǎng)合。
球閥（Ball Valve）：利用球體內(nèi)部的孔來控制流體流動(dòng)，操作簡便，密封性能良好。
蝶閥（Butterfly Valve）：通過旋轉(zhuǎn)軸上的蝶板來控制流體流動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡單，重量輕，適用于大口徑管道。
隔膜閥（Diaphragm Valve）：使用柔性膜片作為密封元件，適用于腐蝕性介質(zhì)和清潔要求高的場(chǎng)合。
針型閥（Needle Valve）：通過小直徑的針狀閥芯來控制微小流量，常用于精密控制。
止回閥（Check Valve）：自動(dòng)防止介質(zhì)倒流，只允許單向流動(dòng)。
安全閥（Safety Valve）：當(dāng)壓力超過設(shè)定值時(shí)自動(dòng)打開，釋放多余壓力，保護(hù)系統(tǒng)安全。
真空閥的設(shè)計(jì)要考慮到工作介質(zhì)的性質(zhì)（如溫度、壓力、腐蝕性）、工作環(huán)境（如真空度、振動(dòng)）以及操作要求（如手動(dòng)、自動(dòng)控制）。此外，真空閥的密封性能尤為重要，因?yàn)樵谡婵諣顟B(tài)下，即使是微小的泄漏也可能導(dǎo)致系統(tǒng)性能下降。因此，真空閥通常采用金屬波紋管、V型密封圈等高質(zhì)量密封材料來確?？煽康拿芊庑Ч?。
