真空閥是對構成管路一部分的閥門，其流導大小是一個重要的性能參數。對于主要用來起開關氣路作用的閥門，閥板關閉的密封性能也是重要的性能參數之一。真空閥密封性能是用其漏氣率來衡量的。對于主要用來調節(jié)氣流大小的閥門，能夠調節(jié)氣流量的精度及范圍，則是一項重要的性能參數。
對真空閥的一般要求如下：
1.閥門的密封性能要好，閥板密封處的漏氣率要小;
2.閥板開啟后應盡可能有較大的流導;
3.閥門內所用材料應有較低的飽和蒸氣壓，高性能和高化學穩(wěn)定性、壽命長，高真空閥門應能耐烘烤(400～450℃);
4.真空閥門的型式、基本參數、連接尺寸和技術條件應按國家專業(yè)標準執(zhí)行。
5.閥門結構要簡單，開關輕便省力，有標志，傳動機構在高壓側。
對于真空閥全金屬高真空閥門，每次關閉是否性能穩(wěn)定?使用壽命是否長?是其主要的性能指標。
