真空閥是一種專門設(shè)計用于真空系統(tǒng)的閥門，用于控制真空系統(tǒng)中的氣體流動。它們在實現(xiàn)真空環(huán)境的建立、保持和破壞中起著關(guān)鍵作用。
真空閥的工作原理與普通閥門相似，但其設(shè)計和制造標(biāo)準(zhǔn)更為嚴(yán)格，以適應(yīng)真空環(huán)境的特別要求。真空閥通常通過以下方式控制氣體流動：
旋轉(zhuǎn)式：通過旋轉(zhuǎn)閥芯或閥盤來開啟或關(guān)閉氣體通道。
滑動式：通過水平或垂直滑動閥芯來控制氣體的流動。
隔膜式：利用彈性隔膜的變形來控制氣體的流通。
真空閥的設(shè)計和操作須考慮到真空環(huán)境的特別性，包括低壓力、高真空度以及可能的冷凝和污染問題。
